冷鏡式精密露點儀是采用多維半導體溫差制冷的冷鏡型露點儀。具有結構設計緊湊，高的應用靈活性，測量無漂移、易于使用等特點，是功能強價格合理的理想選擇。其主要的組成部分為：鏡面制冷，鏡面溫度控制，露點檢測，露點溫度測量等。鏡面制冷部分采用多維半導體溫差制冷組件，溫度測量采用鉑電阻傳感器，露點檢測采用光電系統。
冷鏡式精密露點儀使用要求：
1、如果在室內進行測量則必須保證室內不產生氣流，流速必須控制好。
2、對于溫度控制，手動類型對于溫度修改會有一定的延遲，很容易對測量結果造成誤差。
3、另外在使用冷鏡式精密露點儀時降溫不得過快，這是由于當水汽達到飽和狀態時，液相仍然不會出現甚至是零度以下依然不結冰，這種現象稱之為過冷，產生這種情況的原因是鏡面和樣氣都過于干凈，缺乏足夠數量的凝結核心所導致的，這時所測得的露點溫度會低于實際溫度，碰到這樣的情況我們可以進行反復操作來進行驗證。
冷鏡式精密露點儀利用熱電制冷器冷卻露點傳感器的鏡面或聲表面波器件，使氣體中的水蒸氣在露點傳感器的鏡面上冷凝為露或霜，光電系統自動控制平衡，使鏡面上的露或霜與氣體中的水蒸氣呈相平衡狀態，用鉑電阻溫度計準確測量鏡面上露層或霜層的溫度，從而獲得氣體的露點溫度。
